半導(dǎo)體摻雜工藝需要檢測哪些氣體
2024.01.03 瀏覽量:167 次
半導(dǎo)體摻雜技術(shù)是半導(dǎo)體器件的核心技術(shù)之一,摻雜是指將一定數(shù)量的雜質(zhì)摻入到半導(dǎo)體材料的工藝,能夠改變半導(dǎo)體材料的電學(xué)特性,優(yōu)化半導(dǎo)體芯片的性能。摻雜的方式主要有擴散和離子注入,兩種方法在集成電路和分立器件中都會用到,為了保證生產(chǎn)安全,半導(dǎo)體摻雜工藝用氣體檢測儀的使用非常重要,下面來看看半導(dǎo)體摻雜工藝需要檢測哪些氣體?
利用擴散技術(shù)實現(xiàn)摻雜的工藝過程中危險氣體主要有硼乙烷、硒化氫、三氟化氯、氫氣、砷化氫等氣體,硼乙烷是一種毒性很強的氣體,輕度中毒表現(xiàn)為呼吸道和眼刺激,嚴(yán)重地會導(dǎo)致窒息、死亡等。三氟化氯是一種有毒有腐蝕的氣體,吸入后會引起后喉痙攣、肺炎、肺水腫等,還會與稀有氣體反應(yīng)。砷化氫的毒性也很強,長期接觸會導(dǎo)致慢性中毒,表現(xiàn)為腹痛、嘔吐等癥狀,嚴(yán)重地還會導(dǎo)致神經(jīng)系統(tǒng)、腎臟等衰竭。氫氣、砷化氫屬于可燃?xì)怏w,達(dá)到爆炸下限時與空氣混合形成爆炸混合物,遇明火和高熱就會引起燃燒爆炸。
利用離子注入技術(shù)實現(xiàn)摻雜的工藝過程中除需要檢測硼乙烷、砷化氫外,還需要檢測磷化氫、三氟化硼等氣體,長期接觸磷化氫會出現(xiàn)惡心、嘔吐、昏迷等癥狀,嚴(yán)重地還會直接致死。長期接觸三氟化硼會導(dǎo)致眼睛、呼吸道、皮膚等部位的刺激,嚴(yán)重的情況還會導(dǎo)致氣道收縮。
由此可見,摻雜過程中涉及的有害氣體和可燃?xì)怏w對人體和環(huán)境的的危害都非常大,需要安裝氣體檢測儀對目標(biāo)氣體進行檢測,這里推薦西安贏潤環(huán)保公司生產(chǎn)銷售的ERUN-PG71S6便攜式多參數(shù)氣體檢測儀,此款儀器能夠同時檢測1-6種氣體,泵吸式設(shè)計,響應(yīng)速度快,多種報警模式可設(shè)置,報警提示明顯。
半導(dǎo)體摻雜工藝用氣體檢測儀技術(shù)參數(shù)
產(chǎn)品型號:ERUN-PG71S6
檢測氣體:硼乙烷、砷化氫、三氟化氯、氫氣、磷化氫等
檢測精度:≤±2%F.S (更高精度可訂制)
防護等級:IP67
防爆類型:本質(zhì)安全型ExiaⅡCT4Ga
上述即為半導(dǎo)體摻雜需要檢測哪些氣體的相關(guān)介紹,熱擴散和離子注入技術(shù)是半導(dǎo)體摻雜工藝的兩種方式,在進行摻雜工藝時,往往會涉及很多種氣體,這些氣體對環(huán)境和人體健康都有不同程度的損害,為保護環(huán)境和人身安全,定期使用半導(dǎo)體摻雜工藝用氣體檢測儀,確保環(huán)境中的氣體濃度處于安全范圍內(nèi)。
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